主讲人：于盛旺

时间：2024年8月26日（周一）下午14:00

地点：中心校区半导体研发大楼第一会议室

报告摘要

MPCVD法是制备高品质金刚石的最佳方法，近几年MPCVD技术发展迅速。本报告主要介绍金刚石沉积系统及产品发展现状，太原理工大学超硬材料实验室在2450MHz、915MHz大功率MPCVD装备研发、大尺寸同质外延单晶、异质外延单晶、超大尺寸金刚石多晶制备、金刚石散热材料、金刚石掺杂及半导体应用等方面的技术成果。并针对金刚石在芯片散热领域的应用潜力，结合业界近期进展及课题组相关研究工作，对金刚石散热未来应用价值及降本方案进行讨论与介绍

个人简介

太原理工大学教授，博士生导师。主要从事MPCVD金刚石装备及工艺、金刚石半导体材料及器件、金刚石热管理材料及器件等研究。承担国家级、省部级、军工项目20余项，发表高水平学术论文200余篇，申请发明专利100余项，授权中国发明专利70余项、美国发明专利1项，转化20余项。实现了具有自主知识产权的MPCVD合成金刚石装备的全国产化制造、10克拉级大尺寸单晶钻石的规模化生产，并具备了直径200mm以下多晶金刚石晶圆规模化生产的能力。同时，在异质外延大尺寸金刚石单晶、金刚石掺杂及金刚石散热器件等方面取得较大进展。荣获“全国科技工作者创新创业大赛金奖”、“山西青年五四奖状”等奖项、荣登“2019最具颠覆性创新潜力榜”。相关成果受到央视、人民日报、中国日报、山西卫视、山西日报、科技日报等新闻媒体的关注和报道。