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育晶论坛第7期:CVD金刚石的制备和应用

发布日期:2022-11-22   点击量:

主讲人:李成明

时间:2022年11月24日(周四)下午14:00

地点:腾讯会议

报告摘要

回顾CVD金刚石发展四十年,经历了跌宕起伏的发展历程。随着微波等离子体制备单晶金刚石的爆发,培育金刚石已经发展到占领钻石饰品市场的10%。CVD金刚石的热学应用已近渗透到半导体行业的各个领域,而CVD金刚石电子学应用仍然是举步维艰。这里将介绍CVD金刚石的制备技术和应用,并展望未来的发展。

个人简介

李成明,北京科技大学教授,博士生导师,碳基材料与功能薄膜研究室首席教授。主要从事金刚石膜与金刚石单晶制备及其功能应用研究。从事金刚石材料研究30年,领导团队发展了大面积、无裂纹超厚金刚石膜等离子体喷射法制备技术,开展了微波等离子体技术装备和应用研究,率先在国内拓展金刚石多晶和单晶电子学的研究,金刚石膜热学应用在国际上处于领先水平,推动了CVD金刚石自支撑膜的工业化应用。先后主持和参与国家重大专项(子项目)、国家重点研发计划、国际政府间合作项目欧洲地平线计划2020、国家“863”计划、国家自然科学基金等项目30多项。兼任中国热处理学会常务理事,中国材料研究学会超硬材料及制品专业委员会副主任委员,全国磨料磨具标准化技术委员会委员等。担任Frontier in Carbon、Functional Diamond副主编及多家国外杂志专题主编和国内杂志编委,在碳相关领域发表学术论文300余篇,参加编写专著4部, 授权国家发明专利80余项。获得教育部技术发明一等奖。获得其他省部级奖3项。