为保障新一代半导体材料研究院各项工作加速推进，2月17日（大年初六），新一代半导体材料研究院全体教职工返回科研工作岗位，紧锣密鼓加快集成攻关工作。

春节期间，研究院院长徐现刚教授亲赴碳化硅中试产业化基地——广州南砂晶圆半导体技术有限公司开展技术指导，推进产业化工作。

图1：徐现刚教授在碳化硅中试产业化基地工作

正月初三，碳化硅任务组部分成员赶赴中试产业化基地，研究碳化硅晶向和晶体生长等关键技术问题，以期进一步优化工艺；其他团队成员继续在校内开展单晶生长及加工研发工作，对关键生长设备轮岗值守，在确保实验室安全的前提下，加快科研进度。

图2：陈秀芳教授与在基地实习学生讨论技术问题

图3：任务组成员春节期间开展轮岗值守

春节期间，氮化镓任务组的攻关工作一直没有停歇，团队积极推进单晶生长设备的优化设计和自主研制工作，全力保障新型单晶生长设备按时到位。

氧化镓任务组成员坚守在实验室，继续推进氧化镓晶体生长及加工技术的研究，持续优化生长及加工工艺，以期早日实现技术落地转化。

图4：氧化镓晶体生长设备

激光技术团队讨论确定了大能量纳秒激光器技术方案和时间安排，抓紧重点科研项目申报书，团队计划近期赴京汇报攻关工作进展。

图5：张百涛教授在实验室与团队成员讨论技术问题

半导体器件团队继续开展功率器件加工平台的设备采购、研制工作，与LPCVD、源表、光刻机等设备供应商洽谈设备配置细节；初步设计完成了SiC MOSFET器件的工艺流程，并对光刻板图进行优化。

图6：平台领导走访各攻关任务组

研究院领导对春节期间坚守工作岗位的师生进行了走访慰问，感谢他们的辛勤付出，勉励大家在新的一年里继续发扬艰苦奋斗精神，不待扬鞭自奋蹄，共同推进新一代半导体材料研究院各项工作取得扎实进展，争取早日产出更多标志性攻关成果。