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育晶论坛第三十一期学术活动顺利举办

发布日期:2024-12-05   点击量:

12月4日,山东大学第三十一期“育晶论坛”成功举办,北京大学东莞光电研究院院长助理刘强博士受邀作为本期论坛主讲嘉宾,为平台师生作了“氮化镓体单晶生长”报告,本次论坛由大平台穆文祥副教授主持。

氮化镓由于其性能优异被广泛应用于光电、功率和射频领域,然而由于高质量氮化镓体单晶制造成本高昂,当前仅有少数应用使用氮化镓单晶衬底。目前有多种制造氮化镓体单晶的技术,包括氨热法、钠助熔剂法以及卤化物气相外延法,开发氮化镓大尺寸厚晶锭生长技术可进一步降低氮化镓产业化生产成本。在氮化镓单晶锭生长技术中,HVPE生长炉引入喷淋头设计可提升生长速率、镓源利用率,并实现高面内均匀性大尺寸氮化镓生长;在技术中通过限域生长环,可缓解氮化镓单晶锭随生长厚度增加的边缘应力。将钠助溶剂法和HVPE法结合,有望开发新一代氮化镓晶锭生长技术。报告期间,刘强博士和现场师生围绕目前产业主流的氮化镓单晶衬底制备方法、正在研发中的下一代氮化镓单晶制备方案以及北京大学东莞光电研究院在研的氮化镓单晶生长技术进展进行了讨论。

论论坛结束,穆文祥副教授向刘强博士表示感谢并颁发证书。

为树牢师生创新意识,营造浓厚学术氛围,紧跟学术前沿,把握行业动态,晶体材料国家重点实验室、集成攻关大平台决定举办“育晶论坛”系列学术活动,每周邀请领域内杰出学者开展常态化学术交流,通过线上线下方式面向师生开放。