12月11日-14日，澳大利亚昆士兰微纳米中心Alan Iacopi研究员应集成攻关大平台特聘教授韩吉胜邀请到访大平台参观调研并指导工艺调试。大平台主任徐现刚、特聘教授Handoko Linewih，新一代半导体器件团队相关专家学者陪同参观座谈。

图：Alan Iacopi研究员到访集成攻关大平台座谈交流

Alan Iacopi研究员到晶体材料国家重点实验室与新一代半导体材料集成攻关大平台实验室参观，徐现刚介绍新一代半导体材料研发进展和集成攻关大平台建设情况，与会专家围绕新一代半导体材料、器件等进行了深入交流与探讨。

图：Alan Iacopi研究员参观晶体材料国家重点实验室

图：Alan Iacopi研究员参观集成攻关大平台实验室

Alan Iacopi对半导体设备使用拥有丰富经验，受邀来到大平台超净间了解实验室建设情况并作技术指导。他对平台器件制备关键设备刻蚀机、沉积设备等进行了检查与维护，对设备运行中水路、电路、气路等系统进行详细排查，确定了实验设备故障问题并进行诊断，提出了优化建议，与器件组师生展开了专业技术讨论。

图：Alan Iacopi研究员参观器件组超净间并指工作

指导结束，Alan对平台超净间的布局，水、电、气等布置与维护保养提出了宝贵建议，对超净间内部半导体设备的布局、排布、灰区设计提出了改进方案，对超净间震动等级的建设提出了可实现建议。他带领团队师生对相关设备进行了改造与升级，解决了现有设备使用中遇到的诸多问题。

图：徐现刚主任陪同Alan Iacopi研究员参观山东大学校园并感受山大齐园餐厅

【Alan Iacopi简介】Alan是昆士兰微技术设施和纳米技术中心的兼职高级研究员、曾是格里菲斯大学ANFF-Q网站和昆士兰微纳技术中心的运营总监。Alan教授是半导体设备方面的知名专家，专注于超净间建设、超净间水电气的维护，半导体设备的设计以及维护保养等，在半导体领域工作40余年，具有丰富的半导体平台建设与运行经验。曾担任过晶圆厂高级工艺工程师、生产设备工程管理事业部经理、东京电子欧洲事业部经理。