设备型号

(1) ZeissGeminiSEM560（SEM）、(2)OxfordAZtecLiveUltimMax 100（EDS）、(3)OxfordC-Nano⁺（EBSD）、(4)GatanMonarc Pro

性能指标

(1)二次电子像分辨率0.8nm @15kV，1.2 nm @1kV，加速电压20V~30kV，探针电流最大电流20 nA，稳定性高优于0.5%/h，图像存储最大分辨率32K*24K；

(2)元素分析范围Be4 ~ Cf98，配置TruMap/TruLine、QuantMap/QuantLine功能；

(3) CMOS相机，分辨率1244*1024，取向精度高达0.05度；

(4)阴极荧光光谱范围：185~1100nm，单色成像，全色成像，光谱成像功能。

主要应用

观察材料表面的微观形貌；分析材料表面微区成分和材料点、线、面的元素组成和分布；获取材料的微观组织信息，包括取向、织构、相、晶界等，分析材料的晶体学取向，鉴定未知相以及应变分析；检测材料的阴极荧光光谱，进行材料的缺陷分析。

样品要求

（1）SEM样品尺寸≤200mm，样品厚度≤5mm。

（2）样品必须为清洗后样品，表面干净平整、无污染物附着，无磁性。

（3）样品高度差异不易太大，避免碰触。

收费标准

（试运行阶段）

校内：SEM：300元/小时，EDS：加50元/样，EBSD：加200元/小时；CL：加200元/小时；喷铂80元/次；

校外：SEM：600元/小时，EDS：加100元/样，EBSD：加400元/小时；CL：加400元/小时；喷铂120元/次。

（测试时长包含制样时间）

预约测试流程

（试运行阶段）

（1）登录山东大学大型仪器公共技术平台进行预约（http://cfms.sdu.edu.cn/），导师审批，设备负责人审批后，打印预约单，安排测试。

（2）Excel共享表格进行预约，测试前准备好导师和设备负责人审批的送样单，安排测试。

附件下载

(1)阴极荧光显微表征系统测试送样单（校内）

(2)阴极荧光显微表征系统测试送样单（校外）

备注

试运行时间为2025.01.01至2025.12.31