一：仪器设备名称：波导棱镜耦合仪

型号：SPA-4000

生产厂家：韩国Sairon Tech公司

主要技术参数：

目前该仪器提供：

棱镜一个（GGG，n=1.965）

激光源三个波长（632.8nm、1310nm、1550nm）

测量模式两个（TE、TM mode ）

仪器性能：该仪器利用波导耦合原理可以测量薄膜或体块材料的折射率和薄膜厚度以及其热光系数，波导损耗等。

测量对象

技术要求

折射率

折射率测量范围

1.0~~1.8

折射率精度

0.001

折射率分辨率

±0.0005

厚度

厚度测量范围

0.4μm~~20μm

厚度精确度

±(0.5%+50Å)

厚度分辨率

±0.01μm

体材料（仅测折射率）

折射率精度

0.0005

折射率分辨率

±0.0001

热光系数测量

温度测量范围

30℃~~150℃

样品温度精度

硅片衬底(0.5mm)

±1℃(30℃~~100℃)

±2℃(100℃~~150℃)

光学玻璃片衬底

±2℃(30℃~~100℃)

±3℃(100℃~~150℃)

棱镜温度精度

±0.5℃(30℃~~100℃), ±1℃(100℃~~150℃)

光波导损耗测量

测量限度

0.05dB/cm以内

二：服务项目（测试项目）

薄膜或体块材料的折射率和薄膜厚度以及其热光系数

三：联系方式

电话：88361332

E-mail：ghzhang@sdu.edu.cn

仪器放置地点：晶体所

收费标准：根据实际情况收费